INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS-tuotesarjan jakaminen
VIGOR tarjoaa edistyneitä Integrated Gas Systems (IGS) -järjestelmiä, jotka on suunniteltu erityisesti erittäin{0}}puhtaiden kaasujen hallintaan puolijohdeteollisuudessa. Ratkaisuissamme yhdistyvät innovatiivinen suunnittelu ja tiukat valmistusstandardit varmistaakseen luotettavuuden, kompaktiuden ja erinomaisen suorituskyvyn kriittisissä sovelluksissa.
Tuotteen ominaisuudet
- Käytetään kaasun ohjaukseen puolijohdeteollisuudessa
- Modulaarinen muotoilu
- Kaikki komponentit on pinta-asennettu SEMl-standardin mukaisesti
- Koko on noin 1/3 perinteisestä paneelista
- SEMl-standardimateriaali, sähkökiillotusprosessi ja orbitaalihitsaus
- Wseal ja C{0}}seal valinnaiset
- Tuplapussissa puhdastilassa
- Kaikki tuotteet paitsi "kiinnikkeet" valmistetaan VS001A-prosessispesifikaatioiden mukaisesti
IGS paineensäätimet VIR-sarja
1. Max. Käyttöpaine: 150 psig
2. Max. Käyttölämpötila: -40 astetta F ~ 140 astetta F (-40 astetta ~ 60 astetta)
3. Poistopaine: 0-100 psig
4. Pintakäsittely: Max. 5uin. Ra
5. Materiaali: 316L VIM-VAR
6. Venttiilin istukka: PCTFE (PFA/Vespel valinnainen)
7. Virtauskapasiteetti: Cv=0.08
IGS kalvoventtiilit VID-sarja
1. Max. Käyttöpaine: 150 psig
2. Max. Käyttölämpötila: PCTFE 14 astetta F ~ 176 astetta F (-10 astetta ~ 80 astetta); PFA 14 astetta F ~ 302 astetta F (-10 astetta aste ~ 150 astetta)
3. Ei umpikujasuunnittelua
4. Märkä pinta käsitellään EP:llä, Max. 5uin. Ra.
5. Materiaali: 316L VIM-VAR
6. 100% helium-vuoto-testattu
7. Virtauskapasiteetti: Cv=0.1
IGS Flow Control Venttiilit VIM-sarja
1. Max. Käyttöpaine: 150 psig
2. Max. Käyttölämpötila: 14 astetta F ~ 302 astetta F (-10 astetta ~ 150 astetta)
3. Tiivistys: FKM
4. Märkä pinta käsitellään EP:llä, Max. 5uin. Ra
5. Virtauskapasiteetti: Cv=0.03
IGS Takaiskuventtiilit VICV-sarja
1. Max. Käyttöpaine: 150 psig
2. Max. Käyttölämpötila: 14 astetta F ~ 176 astetta F (-10 astetta ~ 80 astetta)
3. Pinnan viimeistely: Max. 5uin. Ra
4. Halkeilupaine: 0,33 psig
5. Virtauskapasiteetti: Cv=0.2
Substraatit VlB-sarja (C-sinetti)
1. C-sinetti
2. Ei--kiinteä asennus tiivistyksen varmistamiseksi
3. Märkä osa käsitellään EP:llä
4. Pintakäsittely: Max. 5uin.Ra
5. Materiaali: 316L VIM-VAR
Perustuotesarja
- IGS-paineensäätimet (VIR-sarja)
- IGS-kalvoventtiilit (VID-sarja)
- IGS Flow Control -venttiilit (VIM-sarja)
- IGS-takaiskuventtiilit (VICV-sarja)
- IGS-alustat ja -kannattimet (VIB-sarja)
- Tiivisteet (VIG-sarja)
Miksi valita VIGOR IGS?
Järjestelmämme edustavat täsmällisen suunnittelun ja käytännön suunnittelun synergiaa ja tarjoavat:
- Tilatehokkuus: dramaattisesti pienempi paneelin koko.
- Ultra-High Purity: materiaalit ja prosessit, jotka on räätälöity puolijohdetason-sovelluksiin.
- Modulaarinen joustavuus: Helppo konfiguroida, laajentaa ja ylläpitää.
- Todistettu luotettavuus: Tiukka testaus ja SEMI{0}}standardien noudattaminen.
VIGOUR tarjoaa enemmän kuin vain komponentteja,{0}}tarjoamme integroituja ratkaisuja, jotka toteuttavat ideasi luottavaisesti ja tarkasti.
